摘要随着IC随着生产技术的不断发展，对无尘车间生产环境等配套系统的要求也越来越严格。本文81".12",IC无尘车间设计中无尘车间的形式和送风方式.空气处理及温湿度保证措施、悬浮分子污染物、(AMC)综合分析评价了无尘车间的控制和排烟设计方案。
集成电路(IC)它是一种集多种高新技术于一体的高科技产品，几乎存在于所有工业部门，对国民经济的发展起着重要作用“倍增器”因此，先进被视为战略产业。与此同时，它也被用作战略产业。IC产业也是世界上发展快的产业.竞争激烈的行业。考虑到下游产品的需求和生产成本，IC不断向特征尺寸缩小、硅片直径增大的方向发展。目前国际上有8个。”.0.25-0.以18微米为代表的工艺已进入大生产，以12微米为代表的工艺已进入大生产”.0.15-0.以13微米为代表的工艺也开始进入大生产，研究工作已进入纳米阶段，70纳米.40纳米的设备已在实验室成功制备。
随着工艺牛产技术的不断发展，IC生产对环境等配套系统的要求也越来越严格，说到环境首当其冲的是无尘车间，8”.12”IC生产无论洁净度如何.温湿度还是空气中的分子级污染物？(AMC).防微振.防静电等非常严格的要求，一些严格的要求甚至挑战了一些传统的做法。
1无尘车间形式
1.无尘车间从平面布置一般有三种形式：开放式(ballroomtype).港湾式(baycliasetype).岛形布置
以上三种形式的无尘车间各有优缺点，IC前工艺生产厂家通常采用港式和开放式无尘车间，港式无尘车间5”.6”IC厂家使用较多，其工艺设备为穿墙式:8”.12”IC开放式无尘车间用开放式无尘车间加微环境(mini-environment)的方式。开放式无尘车间的显著优势首先是工艺布局的灵活性，这一点尤为重要，因为今天[C生产技术发展迅速，产品本身的要求、工艺生产工艺和生产设备都在不断变化，而且IC生产工厂的施工周期从设计到工艺设备的安装通常需要一年半左右。在此期间，丁艺的生产技术和工艺需要不断调整和更新。只有这样才能保证其生产技术在投产时会落后。即使投产后，也会因为产品而尴尬.市场和生产技术的变化需要对生产线进行改造，以调整产品和生产能力。其次8”.12”IC生产对环境特别是洁净度要求极为严格，硅片暴露区（加工工艺）一般要求1.5级（209）E，O.lμm，1级)。采用开放式无尘车间加微环境再配套自动物料处理系统automatedmaterialhandlingsystem.AMHS)，一方面，口腔可以使操作人员和其他污染源与硅片完全隔离，另一方面，生产自动化的提高非常有利于提高硅片的成品率。开放式无尘车间加微环境，工艺生产只要求微环境有严格的清洁度，而开放式无尘车间只需保证5-6级，严格要求的清洁度面积大大降低，保证清洁度所需的循环空气量也相应减少，能耗大大降低。一般来说，开放式无尘车间加微环境的能耗仅为港式无尘车间的1/3左右。在实际工程中，微环境与开放式无尘车间完全分离。此外，开放式无尘车间结构简单，动力设备减少，从设计到施工简单快捷，可缩短施工时间。
采用开放式无尘车间环境的关键区域是微环境，保证硅片加工过程所需的清洁度。微环境通常如图4.图5所示。
图4所示的微环境送风由无尘车间送风系统提供，缺点是不灵活，不方便移动或增加工艺设备。目前8”.12”IC生产线使用的微环境基本以图5的形式(光刻机除外)。所有微环境均由工艺设备自带，与工艺设备紧密结合，与装载平台紧密结合.前开口传递箱(frontopeningunifiedpods．FOUP).悬挂传输系统(ovcerheadhoisttransport，OHT)有机结合。微环境系统的风机直接吸收室内空气，通过微环境系统的风机直接吸收室内空气ULP过滤器处理后垂直吹，以保证硅片暴露区域的严格清洁度要求。微环境中的送风截面风速通常保持在0.2-0.45m/s，确保过滤器出口断面上任何一点的风速不超过平均风速±20%，风速过高会使微环境温度偏高。微环境风机应为变频风机，以适应过滤器的阻力变化，所用过滤器的效率≥99.99995%(MPPS)。为避免周围“脏”与周围环境(开放式无尘车间)相比，微环境应保持不少于1.25Pa正压，这可以通过调节底部的回风阀来实现。8”.12”IC生产对防微振要求很高，微环境中使用的风机靠近生产设备，因此风机和设备应采取有效的减振措施，风机本身产生的振动为3-100Hz频段内任何频率点的振动位移幅值≤1.25μm。
1.2无尘车间一般有三种形式：集中送风系统(centralsystem).隧道系统(tunnelsysterm.FFU系统(fanfilterunitsystem)，如图6.7.8。
这三种送风系统各有特点，从不同的角度会得出不同的结论，所以不能简单的说哪个好哪个坏。送风系统的采用主要取决于业主.设计师关注哪些方面。FFU近年来，该系统得到了越来越广泛的应用，尤其是在亚太地区。中国也不例外，已建和在建的8个”.12”IC几乎所有的厂房都使用FFU系统，很多5”.6”IC近年来，生产厂房也被采用FFU系统。究其原因，除了习惯，除了习惯。.除了经验等非技术因素外，还有以下原因：
a)灵活性：在三个系统中，FFU系统的灵活性是的，特别适合今天IC随着生产技术的快速发展，对洁净度生产技术的发展，对格。隧道系统几乎不灵活，隧道系统以操作区作为送风区.设备区作为回风空气循环系统，但8”.12”IC几天前，厂房无尘车间基本采用Ballroom方式，，f：分为操作区和设备区，因此隧道系统不适用J；集中送风系统有一定的灵活性，但洁净系统改造时必须停机.停产。若要提高局部区域的清洁度，除无尘车间顶部外，还要增加无尘车间的清洁度HEPA/ULPA除过滤器外，还需要增加循环机组，使改造难度大，对生产影响大；使用过滤器，还需要增加循环机组，使改造难度大，对生产影响大；FFU系统，局部增加FFU台数或移动FFU位置容易实现，而且可以在不停产的情况下进行，对生产几乎没有影响。
b)调控：与集中式送风系统相比，FFU系统各区空气交叉相对较少，可实现高精度度控制。随着电机和网络控制技术的发展，FFU单个控制很容易实现，每个控制都很容易，每个控制都很容易，FFU出风速度几乎可以在一定范围内随意调节，很容易解决大跨度无尘车间远近端气流不均匀的问题。FFU也可根据实际使用需要停止或少打开一部分。
c)可靠性:只要集中送风系统中的送风机组出现故障，除非有备用机组可以立即投入运行，否则无法保证整个系统的清洁度；对于隧道系统，一旦循环机组停止运行，循环机组所承担的清洁区域的清洁度.温湿度不能保证，生产必须停止；而且，FFU系统的风险要小得多，也就是说，系统的风险要小得多